Wlaściwości elektryczne i mechaniczne cienkich warstw mezoporowatej krzemionki (Paperback)

Cienkie warstwy mezoporowatej krzemionki (MPS) są atrakcyjne do zastosowania jako nisko-κ dielektryk międzywarstwowy (ILD) w ukladach scalonych. Jednakże folie te są podatne na niestabilności w zachowaniu elektrycznym spowodowane absorpcją wody i dyfuzją miedzi. W niniejszej pracy omówiono niestabilności elektryczne, chemiczne i termiczne, dyfuzję Cu oraz adhezję tych materialów w celu oceny i umożliwienia ich wykorzystania w przyszlości jako ILD w okablowaniu urządzeń. Stabilnośc termiczna grup funkcyjnych i adhezja tych filmów z Cu są również kluczowymi pytaniami dla integracji tych dielektryków w rzeczywistych urządzeniach. Staramy się odpowiedziec na te pytania dla kilku rodzajów funkcjonalnych folii MPS. Struktura porów jest kolejnym kluczowym parametrem w definiowaniu mechanicznych i elektrycznych wlaściwości folii MPS. W niniejszej pracy do większości badań wykorzystaliśmy folie MPS o porach w ksztalcie kostki 3D. Różnice we wlaściwościach folii MPS z porami zorientowanymi równolegle do podloża (2D-heksagonalne) i folii MPS z porami o ksztalcie sześciennym (3D-kubiczne) są omówione pod koniec pracy. Podsumowując, praca ta pokazuje możliwości dostosowania wlaściwości elektrycznych i mechanicznych dielektryków MPS o niskim wspólczynnikuκ do przyszlych zastosowań.